中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（下稱中微半導(dǎo)體）獲得國家集成電路基金4.8億元投資。這是繼長電科技后，國家集成電路基金出手的第二次投資；也是上海半導(dǎo)體行業(yè)獲得的第一筆國家基金投資。

中微半導(dǎo)體主要的產(chǎn)品為等離子刻蝕機(jī)，其28nm-15nm的耦合等離子體介質(zhì)刻蝕機(jī)去年獲得了中國國際工業(yè)博覽會(huì)金獎(jiǎng)，產(chǎn)品出口額占我國泛半導(dǎo)體設(shè)備出口額的僅8成，擁有臺(tái)積電、英特爾等客戶。

上海也積極推動(dòng)集成電路這一“國家戰(zhàn)略”，已經(jīng)擁有較為完備的產(chǎn)業(yè)鏈布局。目前，既有銳迪科、展訊、中芯國際、華力微電子、上海華虹、上海貝嶺等芯片設(shè)計(jì)、制造企業(yè)，也有中微半導(dǎo)體、盛美半導(dǎo)體等上下游設(shè)備制造企業(yè)。

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